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用于電光器件的石墨烯晶圓級(jí)集成

2023-06-15 來(lái)源:Graphenea 瀏覽數(shù):964

這項(xiàng)研究的發(fā)現(xiàn)可以擴(kuò)展到開(kāi)發(fā)一個(gè)復(fù)雜的基于石墨烯的光電器件庫(kù),例如調(diào)制器、光電探測(cè)器和傳感器。研究人員的工作將支持基于石墨烯的光子器件的工業(yè)應(yīng)用,并為下一代數(shù)據(jù)通信和電信應(yīng)用鋪平道路。

   Laser & Photonics Reviews最近發(fā)表的一篇文章展示了 IMEC 和 Graphenea 之間的成功合作,并將石墨烯集成到 CMOS 工藝中。這一突破實(shí)現(xiàn)了石墨烯器件的晶圓級(jí)集成和升級(jí),是石墨烯旗艦工作包 10 (WP10) 的一部分,專(zhuān)注于“晶圓級(jí)集成”。
  
  這篇科學(xué)論文討論了在現(xiàn)實(shí)系統(tǒng)中使用石墨烯的潛力,以及證明其具有競(jìng)爭(zhēng)力的性能、可靠性和大規(guī)模制造途徑的必要性。研究人員使用單層石墨烯電吸收調(diào)制器作為測(cè)試工具,并將它們集成到 300mm 試點(diǎn) CMOS 鑄造環(huán)境中。通過(guò)分析來(lái)自每個(gè)晶圓數(shù)百個(gè)器件的數(shù)據(jù),他們確定并優(yōu)化了特定處理步驟對(duì)性能的影響。優(yōu)化后,他們展示了 50 dB/mm 的調(diào)制深度和高達(dá) 15.1 GHz 的電光帶寬,用于 25μm 長(zhǎng)的設(shè)備。這些結(jié)果是使用 CMOS 兼容工藝實(shí)現(xiàn)的,該工藝允許大批量、低成本制造。研究人員認(rèn)為,這項(xiàng)工作解決了石墨烯晶圓級(jí)集成的瓶頸,并且CMOS兼容的處理使基于石墨烯的器件與同一芯片上的其他光子學(xué)和電子學(xué)構(gòu)建塊的協(xié)集成成為可能。
  
  

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